氣體回收裝置是對生產中的廢氣進行回收再利用，采用該系列裝置是一項降低生產成本，節約能源，提高經濟效益的有力措施。

　　氫氣回收裝置主要用于鎢鉬行業還原工序排出的廢氫，收集廢氫后進入預處理系統，經增壓后由冷卻器冷卻，汽水他離器分離水份，然后進入純化裝置主體部分，對氫氣進行精制處理，經處理后的氫氣中含氧量≤5ppm，H2O≤10ppm，N2≤900ppm。氫氣回收裝置分為中壓回收和常壓回收，中壓回收氫氣的增壓由壓縮機進行，而常壓回收則由羅茨風機來完成。

　　氬氣回收純化裝置是對區熔單晶硅爐排出的氬氣進行回收處理，通過膜片壓縮機穩壓器進入氬氣純化裝置主體部分進行純化處理。

　　系統特點

　　1)工藝流程簡單，操作方便，自動化程度高。

　　2)吸附容量大，吸附再生速度快，吸附效率高，回收率高。

　　3)設備結構緊湊，占地面積小。

　　4)有卓越的安全性能，適用于易燃易爆場所。

　　5)性能穩定，設備運行環境為常壓，能耗小，運行成本低。

　　6)設備操作彈性大，可承受較高的溫度、壓力、風量、濃度的波動。

　　7)投資回報期短，通常一年內可回收投資成本。